X射線熒光光譜儀應(yīng)用于水泥、鋼鐵、建材、石化、有色、硅酸鹽、煤炭、高嶺土、耐火材料、科研、環(huán)保等行業(yè)，是一種中型、經(jīng)濟(jì)、高性能的光譜儀。采用固定通道，減少測(cè)量時(shí)間；固定通道尤其適用于熒光產(chǎn)額較低的輕元素和微量元素的測(cè)定，以提高分析精度和靈敏度。X熒光光譜儀采用操作方便，用戶習(xí)慣的智能化軟件，提供全自動(dòng)分析操作，實(shí)現(xiàn)快速定性、定量分析和半定量分析。
X射線熒光光譜儀一般有三點(diǎn)分析模式：
·點(diǎn)分析
將電子探針固定在試樣感興趣的點(diǎn)上，進(jìn)行定性或定量分析。該方法用于顯微結(jié)構(gòu)的成份分析，例如對(duì)材料晶界、夾雜、析出相、沉淀物、奇異相及非化學(xué)計(jì)量材料的組成等分析。
·線分析
電子束沿一條分析線進(jìn)行掃描(或試樣掃描)時(shí)，能獲得元素含量變化的線分布曲線。如果和試樣形貌像(二次電子像或背散射電子像)對(duì)照分析,能直觀地獲得元素在不同相或區(qū)域內(nèi)的分布。沿感興趣的線逐點(diǎn)測(cè)量成分，也可以劃出該線的成分變化曲線。
·面分析
將電子束在試樣表面掃描時(shí)，元素在試樣表面的分布能在CRT上以亮度分布顯示出來(lái)（定性分析)，亮度越亮，說(shuō)明元素含量越高。研究材料中雜質(zhì)、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常與形貌像對(duì)照分析。
X射線熒光光譜儀的點(diǎn)、線、面分析方法用途不同，檢測(cè)靈敏度也不同，定點(diǎn)分析靈敏度zui高，面掃描分析靈敏度zui低。
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