單通道X射線熒光光譜儀。X射線熒光光譜儀的分光晶體為平面晶體。這類儀器一般由四部分組成：X射線發(fā)生、X射線分光、檢測(cè)和記錄系統(tǒng)以及操作和控制系統(tǒng)。各系統(tǒng)均由計(jì)算機(jī)控制和操作。

 

1、X射線發(fā)生系統(tǒng)是由X射線管及其控制部分、高壓油箱、高壓電纜和X射線管冷卻單元等組成。這些組成部分保證了激發(fā)源(X射線管)發(fā)射出穩(wěn)定的、有一定強(qiáng)度的一次X射線。

 

2、X射線分光系統(tǒng)是由X射線分光晶體、樣品室、真空抽氣系統(tǒng)和氣路系統(tǒng)組成。X射線光譜儀包括SC閃爍計(jì)數(shù)器、*狹縫、分光晶體、晶體轉(zhuǎn)換器、第二狹縫和FPC流氣正比計(jì)數(shù)器等。真空抽氣系統(tǒng)包括真空泵、真空管道和真空探頭。氣路系統(tǒng)包括氬和甲烷氣瓶、減壓閥、流量計(jì)和自動(dòng)氣體調(diào)壓器等。

 

3、檢測(cè)和記錄系統(tǒng)是由放大器印刷電路板、PHA的印刷電路板、探測(cè)器高壓電源的印刷電路板、接口印刷電路板、防護(hù)板、插件板和電源等組成。

 

4、操作控制系統(tǒng)包括于操作系統(tǒng)的微處理機(jī)、定標(biāo)器/定時(shí)器、記錄儀接口以及光譜儀各個(gè)接口。經(jīng)脈沖高度選擇器分離出來(lái)的分析線脈沖高度分布，由計(jì)數(shù)率計(jì)——記錄儀、定標(biāo)器——定時(shí)器讀出和顯示。

 

5、計(jì)算機(jī)

 

   上述四個(gè)系統(tǒng)，由計(jì)算機(jī)控制和操作。在預(yù)先設(shè)定的測(cè)量條件下，主機(jī)(X射線熒光儀)進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量。測(cè)量完畢，計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，并打印出分析結(jié)果。

 

二、多通道X射線熒光光譜儀結(jié)構(gòu)

 

    多通道X射線熒光光譜儀的固定通道所匹配的分光晶體為凹面晶體。這類譜儀的結(jié)構(gòu)，基本上相當(dāng)于一系列單通道譜儀的組合，每一個(gè)通道都有自己的晶體、準(zhǔn)直器和探測(cè)器。這些通道環(huán)繞一個(gè)共用的X射線管(端窗型)和試樣，呈輻射狀排列。每一個(gè)探測(cè)器都有自己的放大器、波高選擇器、計(jì)數(shù)器和定標(biāo)器。測(cè)量通道基本上是固定的，被設(shè)定在的分析線2θ角度上。有些譜儀也配有一、二個(gè)掃描通道。