性能無(wú)疑是評(píng)估光譜儀非常重要的指標(biāo)。性能優(yōu)異的進(jìn)口X射線(xiàn)熒光光譜儀做篩選檢測(cè)能準(zhǔn)確無(wú)誤地排查合格和不合格，并將不確定的灰色部分壓縮到zui??；有的光譜儀鉛砷不分、鎘的特征譜線(xiàn)與X光管銠電極的特征譜線(xiàn)重疊等。經(jīng)常誤判；有的光譜儀檢測(cè)鎘的靈敏度不夠高，不能準(zhǔn)確判定鎘；大部分光譜儀的檢測(cè)穩(wěn)定性受到X光管老化、環(huán)境溫度、電源波動(dòng)等影響，使數(shù)值不準(zhǔn)。由于性能不足，可能發(fā)生錯(cuò)判、誤判、無(wú)法判定等事件頻發(fā)，不確定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本顯著提高、風(fēng)險(xiǎn)增加。有的光譜儀X射線(xiàn)漏泄嚴(yán)重，危及操作者安全。更不可取。

    下面介紹進(jìn)口X射線(xiàn)熒光光譜儀的幾個(gè)關(guān)鍵性能

1、X光管的電極材料

   目前X線(xiàn)熒光光譜儀基本上采用銠靶X光管，個(gè)別有鎢靶X光管的。
①銠（Rh）靶：銠的特征譜線(xiàn)與鎘的特征譜線(xiàn)重疊；銠電極發(fā)射強(qiáng)度不夠高，對(duì)于鎘的篩選排查不勝任。
②鎢（W）靶：鎢的特征譜線(xiàn)遠(yuǎn)離RoHS的5種元素特征譜線(xiàn)，無(wú)譜線(xiàn)重疊；發(fā)射強(qiáng)度高，能提高元素檢測(cè)下限值。

2、檢測(cè)器

①SDD：新型的SDD檢測(cè)器屬高純硅檢測(cè)器，穩(wěn)定性好，檢測(cè)靈敏度高。
②SSD：老款的SSD檢測(cè)器屬硅鋰檢測(cè)器，漂移大，檢測(cè)靈敏度低。

3、檢測(cè)方法和軟件

①FP法、部分檢量線(xiàn)法：穩(wěn)定性差。
②帶補(bǔ)正的相對(duì)檢量線(xiàn)法：可以自動(dòng)補(bǔ)償環(huán)境條件變化、X光管老化、供電變化等對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)的影響。

4、X線(xiàn)束光斑直徑

①光斑直徑大小在使用中會(huì)體現(xiàn)出一些差別。目前光斑直徑從0.1mm到15mm不等。光斑小不受試樣面積限制，光斑大受材料不均勻性影響小。
②光斑大小間接反映X光束的能效。大光斑（幾mm到十幾mm）通常采用準(zhǔn)直器整理光束，被遮擋部分白白浪費(fèi)掉；1mm以下小光斑采用導(dǎo)管整理光束，能量損失較少。
③光斑大小根據(jù)實(shí)際測(cè)量需要選擇，光束能量損失通常制造商在軟件、濾光片等方面做適當(dāng)補(bǔ)償。